MicroProf® 300 входит в ряд высокопроизводительного и широкоиспользуемого оборудования MicroProf®. Прибор активно применяется для гарантии качества, разработки и производства. Малейшие отклонения параметров поверхности от идеальных определяются устрйоством бесконтактно без какого-либо повреждения образца даже на субмикронном уровне. Кроме шероховатости поверхности, важна и её форма. Довольно узкие пределы отклонений от нормы должны определяться предельно точно. MicroProf® 300 идеально подходит под все эти требования, а также без проблем интегрируется в процесс производства с полной автоматизацией. Обширный выбор датчиков и возможность проведения двустороннего контроля образца (TTV) позволяют адаптировать прибор оптимальным и индивидуальным образом к Вашим задачам. Более того, автоматизация значительно улучшает производительность и надежность процесса.
Возможности измерения:
The MicroProf® 300 – это один из мультисенсорных измерительных приборов производства FRT, который гибко приспосабливается к требованиям пользователя с помощью обычной смены датчиков. Кроме прочих методов используется принцип хроматического измерения расстояний. Белый свет фокусируется на поверхности измерительной головкой с фокусным расстоянием, строго зависящим от длины волны.
Спектр рассеянного по поверхности света имеет характерный пик, характеристики которого используются для определения высоты образца. Измерительный прибор подходит для широкого спектра материалов: прозрачных пластиков, сильно отражающих зеркал и даже светопоглощающих пооверхностей.
Система |
|
Конструктив |
Портал |
Датчики |
Мультисенсор |
Scanning Stage |
|
Область перемещения |
415 мм x 305 мм |
Привод |
Прямой |
Подшипник |
Крестороликовый |
Шаговое разрешение |
50 нм |
Ровность |
< 2 мкм / 100 мм |
Макс. скорость |
300 мм / с |
Нагрузка |
5 кг |
z-ось |
Моторизированная |
Вертикальное перемещение |
50 мм (100 мм опционально) |
Системные требования |
|
Общие требования |
Чистота, отсутствие вибраций, постоянная температура |
Входное напряжение |
110 В / 220 В переменного тока, 1 фаза |
Размер (Длина x Ширина x Высота) |
1200 мм x 800 мм x 1500 мм |
Вес |
Примерно 700 кг |
Измерительная головка |
CWL 600 мкм |
Диапазон измерений xy |
415 мм x 305 мм |
Диапазон измерений z |
600 мкм |
Продольное разрешение |
2 мкм |
Вертикальное разрешение |
6 нм |