Оборудование smartWLI предоставляет надежную технологию инспекции и трехмерной визуализации топографии поверхностей с нанометри-ческой точностью. Типичными задачами, решаемыми системами smartWLI, является анализ поверхностей с различными параметрами шероховатости (полупроводниковые пластины, зеркала, стекла, металлы), определение высот ступеней (тонкопленочные напыления) и точное измерение кривизны поверхностей (микролинзы).