Вакуумные насосы Edwards Vacuum производятся в Англии.Edwards является частью швейцарской компании Atlas Copco и занимает лидирующие позиции среди производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Сегодня в компании работает 4200 сотрудников на предприятиях более чем в 30 странах. Основная вектор развития компании - разработка инновационных продуктов в области вакуумной техники, оптимизация процессов на самых требовательных к ресурсам приложениях.
Название или модель |
Edwards STP-iXA3306C |
Производитель |
Edwards Vacuum |
Страна |
Англия |
Диапазон |
Высокого и сверхвысокого вакуума |
Частота вращения |
27700 об/мин |
Скорость откачки по азоту |
2650 л/с | 3200 л/с |
Скорость откачки по водороду |
2050 л/с | 2300 л/с |
Степень сжатия по азоту |
> 108 |
Степень сжатия по водороду |
> 2 · 103 |
Предельное остаточное давление |
10-7 Па (10-9 Торр) |
Максимальное рабочее давление |
- |
Максимально возможное давление на выходе |
266 Па (2 Торр) |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
80 м3 /ч (22 л/с) |
Время запуска |
< 10 мин |
Положение в пространстве |
Любое |
Входной фланец |
ISO250F / VG250 / ICF305 | ISO320F / VG300 / ICF356 |
Выходной фланец |
KF40 | K40 |
Охлаждение |
Водяное |
Допустимая температура окружающей среды |
0 - 40 °C |
Вес |
80 кг / 83 кг |
Смазка подшипников |
Не требуется |